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掩膜版｜保護膜表麵顆粒物快速檢測係統（PDS）為掩膜版、掩膜版保護膜以及基板（襯底）製造工藝，提供高通量的表麵顆粒汙染檢測服務。 該係統對粒徑大於 0.1µm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高效且提供服務的選擇。它能以手動或自動的操作方式，以及較低的維護成本，取代傳統的顆粒檢測係統。

Fastmicro 晶圓表麵顆粒物快速檢測係統（PDS)，專為各行業產品表麵顆粒汙染物直接測量而設計，主要應用於半導體領域的晶圓、薄膜及光罩檢測，也可用於顯示市場等基板檢測。該係統配備 4-12 英寸視場（FOV）掃描區域，支持上下表麵檢測。其光學設計使產品在計量過程中無需移動即可完成檢測。該係統可根據不同生產工藝需求進行定製，或直接集成至產線。

Fastmicro 儀器表麵顆粒物分析儀，是一款基於“膠帶粘取”采樣技術的表麵汙染檢測工具，可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒汙染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表麵（包括難以觸及區域和高粗糙度表麵）實現靈活采樣，且不會殘留可檢測的痕跡。該設備可在數秒內完成 225 mm2 采樣區域的分析，確保快速獲得精準檢測結果。搭配 2 英寸晶圓支架，也可對沉降顆粒進行檢測，滿足跨行業複雜

Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀，專為潔淨室顆粒沉積速率測量而研發，支持秒級間隔的數據采集，精準測量 0.5 um 以上顆粒。結合直觀易用的軟件係統，幫助客戶實現從單純空氣監測向表麵潔淨度監測的跨越式升級，為工藝流程優化和潔淨度持續改進提供科學依據。